Компоненты электроники; Материалы и методы нанотехнологий; Методы диагностики и анализа микро- и наносистем; Спектральные методы исследования; Физико-химия наноструктурных материалов; , 11.03.04 Материалы и методы нанотехнологий; Методы диагностики и анализа микро- и наносистем; Спектральные методы исследования; Физико-химия наноструктурных материалов,